Karbon tetraflorür nedir?
Karbon tetraflorür (CAS 75-73-0), florlu bir proses gazı; PFC-14 ve Freon 14 isimleriyle de bilinir.
Karbon tetraflorür nerede kullanılır?
- Yarı iletken ve elektronik: plazma aşındırma ve temizleme gazı
- Yarı iletken fabrikasyonunda silikon dioksit ve silikon nitrür katmanlarının plazma ile aşındırılması; entegre devre üretiminde hassas desenleme bu proses üzerine kurulur
- CVD reaktörlerinin temizlenmesinde oda içi artık birikintileri uzaklaştıran proses gazı
- Havacılık ve savunma elektroniği: yüksek güvenilirlik gerektiren bileşenlerin üretim süreçlerine yönelik spesifikasyonlar
- Düz panel ekran ve fotovoltaik panel üretiminde ince film aşındırma adımlarında CF4 bazlı gaz karışımları
Fiziksel Özellikler
| Erime Noktası | -183.6 °C |
| Kaynama Noktası | -127.8 °C |
| Yoğunluk | 3.034 g/cm³ @ Temp: 25 °C |
| Görünüm | Tetraflorometan renksiz, kokusuz bir gazdır. |
| Suda Çözünürlük | H2O içinde mL/100mL: 0,595 (%C10), 0,490 (%C20), 0,366 (%C40) [LAN05] |
| Kırılma İndisi | 1.1510 |
Güvenlik ve Kullanım (Rehber)
DİKKAT GHS04 GHS07
Tehlike İfadeleri
H336 Uyuşukluğa veya baş dönmesine neden olabilir
H280 Basınçlı gaz içerir; ısıtılırsa patlayabilir
Ticaret ve Mevzuat
| UN Numarası | 1982 |
| ADR Sınıfı | 2.2 |
Diğer İsimler
PFC-14 Freon 14 CF4 Soğutucu akışkan 14 Halokarbon 14
İlgili Ürünler
1,1,4,4-tetrafloro-1,3-butadien
CAS: 407-70-5
Flor
CAS: 7782-41-4
1,1,1,2-Tetrafloroetan
CAS: 811-97-2
Karbon disülfür
CAS: 75-15-0
Paraklorobenzotriflorür
CAS: 98-56-6
Hidroflorik asit
CAS: 7664-39-3
Diklorodiflorometan
CAS: 75-71-8
Karbondioksit
CAS: 124-38-9
Kalsiyum Florür
CAS: 7789-75-5
Tetrakloroetilen
CAS: 127-18-4
Viniliden florür
CAS: 75-38-7
Perfloro(2-metil-3-pentanon)
CAS: 756-13-8
Potasyum florür
CAS: 7789-23-3
Helyum
CAS: 7440-59-7
Kimyasal Özellikler
- CAS Numarası
- 75-73-0
- EC Numarası
- 200-896-5
- Mol. Ağırlık
- 88.004
- Form
- gaz
- Kategori
- Çözücüler
Sektörler
Molekül Yapısı
