Karbon tetraflorür

Karbon tetraflorür (CAS 75-73-0), PFC-14 ve Freon 14 isimleriyle de tedarik edilen florlu bir proses gazıdır.

Yarı iletken ve elektronik üretiminde plazma aşındırma ve temizleme gazı olarak öne çıkan birincil kullanım alanına sahiptir. Yüksek kimyasal kararlılığı, hassasiyetin ve tekrarlanabilirliğin kritik olduğu proses ortamlarında tercih sebebidir.

Yarı iletken fabrikasyonunda silikon dioksit ve silikon nitrür katmanlarının plazma ile aşındırılmasında kullanılır; entegre devre üretiminde hassas desenleme bu proses üzerine kurulur.

CVD reaktörlerinin temizlenmesinde oda içi artık birikintileri uzaklaştırmak için proses gazı olarak devreye girer.

Havacılık ve savunma elektroniğinde yüksek güvenilirlik gerektiren bileşenlerin üretim süreçlerinde yer alan spesifikasyonlara girer.

Düz panel ekran ve fotovoltaik panel üretiminde ince film aşındırma adımlarında CF4 bazlı gaz karışımları formüle edilir.

Karbon tetraflorür, basınçlı tüp ve ISO tank formatlarında sıvılaştırılmış gaz olarak tedarik edilir.

Elektronik sınıfı (electronic grade) ve endüstriyel saflık derecelerinde sunulur; yarı iletken uygulamaları için yüksek saflık spesifikasyonları standart talep olarak karşılanır.